德國普旭真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí),即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí),排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān),因而提高了極限真空度。
德國普旭真空泵特性:
1.設(shè)計(jì)精密、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、重量輕、易于安裝及維護(hù).
2.空氣冷卻(氣冷式)
3.值結(jié)式驅(qū)動(dòng),可避免轉(zhuǎn)動(dòng)皮帶及齒輪之松弛或損耗.
4.含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.
5.進(jìn)氣口有逆止閥,當(dāng)泵浦停止時(shí),此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.
6.低震動(dòng),不需用基礎(chǔ)螺拴固定泵浦.
7.運(yùn)轉(zhuǎn)聲音小
8.具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.
9.具氣體壓載閥,可適用于大量蒸氣之制程。即在真空度0.5mbar到40mbar之間進(jìn)入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口排出。